晶圆厂的进度比路阳预料中的快许多，基建方面整个园区的建筑完成入驻。

生产线这边，净室系统，尘车间也建设完成，目前正在建空中晶圆运输轨道，张老兴致勃勃的给众人介绍道。

“晶圆厂的最终方案就是人越少越好，所以我们这次在人自动化方面也改进了不少，在人员需求上，建成后完全可以超越三兴、台鸡电，给我们提供自动化计算的企业就在园区内，这是全世界都法比拟的条件。”

产业集群建立后，各方面的优势都巨大，一圈逛下来，华芯晶圆厂的供应商一大半都在产业带内，有什么问题一个电话就直接到现场。

为了华芯晶圆厂，电力公司那边还在产业带建了一个分公司，专供园区。

可以说，华芯现在提什么，申城政府那边就给什么，一切以速度优先。

晶圆厂现在还没完全建成，也只能看个大概框架，众人很快就参观完回到张老办公室。

7月份第一批光刻机就运抵晶圆厂，10台28纳米，20台90纳米，目前基本工作都已准备就绪。

张老笑道，“小路啊，上次蔡总跟我说，10月份晶圆厂揭幕，上面的意思还是弄一台EUV来镇镇厂，这事现在有眉目了吗？”

路阳心中一颤，这事他还真没把握，出国时曾经跟廖老通过电话，好像是中科院那边已经把数学模型验证成功，开始结合光学系统演算，这次视察完，他下一站就是去专家组那边看下。

“张老，这事我还真没法给您确切的答案，得我亲自去看下，现在距离10月还有3个月左右时间，我只能有一定可能性。”

“科学就要实事求是，这事也急不来，上个月我在申城见过一次廖院士，他啊，压力太大了，身体状况大不如前。”

路阳急忙问道，“怎么了？我每次跟老师打电话，听声音都还蛮有精神的。”

“廖院士是华国培养的科学家，现在主持EUV研发，背后是几千人的团队，心里压力不是一般人能想象得到的，小路，你见到他也劝劝，不要因为上面的一句话就胡思乱想。”

张老这话提醒了路阳，国外的科学家背后压力主要来源于投资方，哪怕做不出东西最多也就是断了投资，项目搁置。

但华国不一样，老一辈的这批人责任心是与伦比的，尤其是这次，华国为了EUV几乎把所有相关的研究机构都调动了，也许上面一句简单的10月份需要一台EUV，但是到了廖老这里，就是一项任务，背后承担着数人的希望。

“我明白了，张老，是我最近疏忽了，我这个做学生的有责任，会尽快解决这个问题。”

“嗯，你明白就好！按现在的局面，就算没有EUV对华芯晶圆厂的影响也不会太大，面子工程的事，没必要压死一堆人，反而没有压力的坏境，也许会出想象不到的结果。”

张老继续说道，“上周，中芯的同事过来看我，对我们华芯现在的体系大加赞赏，他们现在两种体系都在运作，优劣最为清楚，华芯在28纳米是能够稳占世界第一的，这方面我也能够确认，所以不用急。”

说了这么多，张老的意思路阳已完全理解，这便是他一定要亲自下一线的原因。

如果这次不来晶圆厂，他心中也一直把EUV在10月份研制出来作为第一目标，形中就会给老师那边带来巨大的压力。

离开晶圆厂，前往苏硅的路上，路阳一直在思考张老的话。

直到应若涵提醒，才发现已经到达苏硅，“这么快？”

蔡伟青笑道，“走的是新路，这边已经联通，苏硅到晶圆厂半小时车程。”